<sup>11</sup>B in Form von Bortrifluoridgas

11B in Form von Bortrifluoridgas

Bor-Isotope

Bortrifluoridgas ist das ideale Dotiermittel für Siliziumwafer zur Herstellung von hochintegrierten Mikrochips mit hoher Dichte. 11BF3 sorgt für mehr Effizienz und einen höheren Produktionsdurchsatz und trägt dazu bei, dass die Chips kleiner und besser werden.

Spezifikationen

Physical Properties:

Material 11B – Boron-11 in the form of Boron Trifluoride Electronic Grade
Enrichment 11B > 99,9 at%

Chemical Properties

Form BF3
Purity > 99,9 wt%

Impurities in vppm

Ar+O2 < 5
CO2 < 10
HF < 5
N2 < 5
SiF4 < 25
SO2 < 10
PDF herunterladen Kontaktieren Sie uns